یکی از راه های کنترل فرایند تولید بخار و همچنین حفظ عمکلرد صحیح تک تک اجزای موجود در سیکل بخار در نیروگاه ها، به کارگیری تجهیزات آنالیز دقیق و کارآمد در سیستم سمپلینگ یک نیروگاه بخار یا سیکل ترکیبی است.
پایش برخی پارامترها در کنترل سیکل بخار بسیار حیاتی است و با توجه به ویژگی آب در این فرایند (آب در بخش عمده ای از فرایند باید فوق خالص باشد) سنجش کیفیت آن به ابزار و تجهیزاتی با ویژگی های خاص نیاز دارد.
پارامترهایی از جمله pH، هدایت الکتریکی مخصوص، هدایت الکتریکی کاتیونی، اکسیژن محلول، سدیم و سیلیکا از جمله این پارامترهای حیاتی می باشند.
هدف اصلی اجرای رژیم شیمیایی در نیروگاه، حفظ عملکرد تمامی اجزای سیکل بخار در بهترین شرایط است. از این رو می توان از ایجاد خوردگی، رسوب و آسیب جدی به تجهیزاتی مانند توربین ها، تیوب بویلرها، واحد تولید آب فوق خالص و ... جلوگیری نمود.